发明名称 半导体装置之制造方法、磁性记忆体之制造方法及其磁性记忆体
摘要 一种半导体装置之制造方法,首先形成一第一金属导线,续于第一金属导线上形成一半导体装置,并于半导体装置上形成一介电层,其中介电层中对应于该第一金属导线之位置形成有一接触窗。续在于接触窗中形成一金属插塞,此金属插塞可做为遮罩,以对半导体装置进行蚀刻,俾使蚀刻后之半导体装置会形成对应于该金属插塞之形状。透过本发明所揭露之制造方法,半导体装置将依照金属插塞的形状而形成,同时使得半导体装置与金属插塞完全对准。
申请公布号 TW200727293 申请公布日期 2007.07.16
申请号 TW095100379 申请日期 2006.01.04
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 何青原;陈永祥
分类号 G11C11/15(2006.01);H01L21/30(2006.01);H01L21/768(2006.01) 主分类号 G11C11/15(2006.01)
代理机构 代理人 许世正
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号