发明名称 | 半导体装置之制造方法、磁性记忆体之制造方法及其磁性记忆体 | ||
摘要 | 一种半导体装置之制造方法,首先形成一第一金属导线,续于第一金属导线上形成一半导体装置,并于半导体装置上形成一介电层,其中介电层中对应于该第一金属导线之位置形成有一接触窗。续在于接触窗中形成一金属插塞,此金属插塞可做为遮罩,以对半导体装置进行蚀刻,俾使蚀刻后之半导体装置会形成对应于该金属插塞之形状。透过本发明所揭露之制造方法,半导体装置将依照金属插塞的形状而形成,同时使得半导体装置与金属插塞完全对准。 | ||
申请公布号 | TW200727293 | 申请公布日期 | 2007.07.16 |
申请号 | TW095100379 | 申请日期 | 2006.01.04 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 何青原;陈永祥 |
分类号 | G11C11/15(2006.01);H01L21/30(2006.01);H01L21/768(2006.01) | 主分类号 | G11C11/15(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 许世正 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |