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发明名称
INDUKTIVPLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG MIT EINEM STROMSENSOR FÜR PLASMAERREGERSPULE
摘要
申请公布号
AT364896(T)
申请公布日期
2007.07.15
申请号
AT20020719377T
申请日期
2002.03.29
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
VELTROP, ROBERT;CHEN, JIAN;WICKER, THOMAS
分类号
H01J37/32;H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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