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发明名称
Cathode for a vacuum sputtering system
摘要
A novel cathode for use in a vacuum sputtering system is disclosed. The cathode includes a cathode core and a first removable portion and a second removable portion on the cathode core.
申请公布号
US2007158187(A1)
申请公布日期
2007.07.12
申请号
US20060331288
申请日期
2006.01.12
申请人
WAGNER ANDREW V
发明人
WAGNER ANDREW V.
分类号
C23C14/00
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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