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发明名称
Selbstreinigender unterer Kontakt
摘要
申请公布号
DE112005001928(T5)
申请公布日期
2007.07.12
申请号
DE200511001928
申请日期
2005.08.08
申请人
ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES INC.
发明人
GARCIA, DOUGLAS J.
分类号
H01L23/58;G01R31/02;G01R31/28
主分类号
H01L23/58
代理机构
代理人
主权项
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