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Die Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Teilen (30) aus einem plattenförmigen Substrat (20), umfassend die Schritte: DOLLAR A - laterales Abtrennen der Teile (30) aus einem plattenförmigen Substrat (20), welches auf einer ersten Vakuumplatte (3) befestigt ist, DOLLAR A - Ansaugen der Teile (30) auf einer ersten Vakuumplatte (3), und DOLLAR A - Ablösen der abgetrennten Teile (30) von der ersten Vakuumplatte (3).
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