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发明名称
Einrichtung für die Montage von Halbleiterchips und Verfahren zum Ablösen eines Halbleiterchips von einer Folie
摘要
申请公布号
DE502004003946(D1)
申请公布日期
2007.07.12
申请号
DE200450003946T
申请日期
2004.11.29
申请人
OERLIKON ASSEMBLY EQUIPMENT AG, STEINHAUSEN
发明人
MEDDING, JONATHAN;STALDER, ROLAND;LUSTENBERGER, MARTINA;NIEDERHAUSER, MARCEL;SCHNETZLER, DANIEL
分类号
H01L21/68;H01L21/00
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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