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发明名称 THIN FILM PROCESSING METHOD AND THIN FILM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100738295(B1) 申请公布日期 2007.07.12
申请号 KR20057006292 申请日期 2005.04.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/20;H01L21/208;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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