Wolfram- und Molybdän-Verbindungen und ihre Verwendung für die Chemical Vapour Deposition (CVD)
摘要
Die vorliegende Erfindung betrifft spezielle, neue Wolfram- und Molybdänverbindungen, DOLLAR F1 deren Verwendung zur Abscheidung wolfram- bzw. molybdänhaltiger Schichten mittels Chemical Vapor Deposition sowie die gemäß diesem Verfahren hergestellten wolfram- bzw. molybdänhaltigen Schichten.
申请公布号
DE102006000823(A1)
申请公布日期
2007.07.12
申请号
DE20061000823
申请日期
2006.01.05
申请人
H. C. STARCK GMBH & CO. KG
发明人
REUTER, KNUD;SUNDERMEYER, JOERG;MERKOULOV, ALEXEI;STOLZ, WOLFGANG;VOLZ, KERSTIN;POKOJ, MICHAEL;OCHS, THOMAS
