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发明名称 MULTIPLE STAGE CLEANING FOR PLASMA ETCHING CHAMBERS
摘要
申请公布号 KR100738850(B1) 申请公布日期 2007.07.12
申请号 KR20027001134 申请日期 2002.01.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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