| 主权项 |
1.一种载台装置,包括:一导引构件,导引着保持一 基板的一载台本体在一第1方向移动自如的方式, 并在一基座上往一第2方向移动;以及一驱动装置, 驱动该载台本体往该第1方向,其特征在于包括: 一从动载台,连接该驱动装置的一部份,与该导引 构件一同往该第2方向移动,该从动载台被配设在 该导引构件及该基座之间。 2.如申请专利范围第1项所述的载台装置,其特征在 于:该从动载台是中继一资源供给构件,以供给资 源至该载台本体。 3.如申请专利范围第2项所述的载台装置,其特征在 于:该资源供给构件是透过形成在该基座上的贯通 孔,而由该从动载台中继传送。 4.如申请专利范围第3项所述的载台装置,其特征在 于:具有覆盖该贯通孔的盖构件。 5.如申请专利范围第4项所述的载台装置,其特征在 于:该盖构件,一端是安装在该载台本体,并伴随着 该载台本体的移动而伸缩。 6.如申请专利范围第1项至第5项中任一项所述的载 台装置,其特征在于:该从动载台是设成与该基座 为振动分离的状态。 7.如申请专利范围第6项所述的载台装置,其特征在 于:该从动载台是被一支持部所支持着,该支持部 贯通形成于该基座上的第2贯通孔。 8.如申请专利范围第1项至第5项中任一项所述的载 台装置,其中该驱动装置具有:连接到该载台本体 的可动件及连接至该从动载台的固定件,其特征在 于该载台装置包括: 一检出装置,检测该可动件及该固定件之间的间隙 量;以及 一位置调整装置,根据该检测出的间隙量,调整该 可动件及该固定件的相对位置关系。 9.如申请专利范围第1项至第5项中任一项所述的载 台装置,其特征在于具有:一连结装置,使该导引构 件及该从动载台为解除自如地一体化地连结。 10.如申请专利范围第1项至第5项中任一项所述的 载台装置,其特征在于包括: 一保持装置,使该载台本体相对于该导引构件,非 接触地于该第1方向上移动自如,且沿该基板的保 持面呈回转自如地被保持着;以及 一回转装置,使该载台本体沿该保持面回转。 11.如申请专利范围第10项所述的载台装置,其特征 在于: 该回转装置具有:设于包挟着该载台本体两侧的该 驱动装置,以及使该两侧的驱动装置相互往反方向 驱动的驱动控制装置。 12.如申请专利范围第1项至第5项中任一项所述的 载台装置,其特征在于: 该导引构件之往该第2方向的驱动,是由具有第2固 定件的第2驱动装置所进行,且 该从动载台之往该第2方向的驱动,是利用该第2固 定件以进行。 13.如申请专利范围第12项所述的载台装置,其特征 在于包括: 一第2检出装置,检测连接至该导引构件之第2可动 件与该第2固定件之间的间隙量,或检测连接至该 从动载台之第3可动件与该第2固定件之间的间隙 量,或检测该第2可动件与该第2固定件之间的间隙 量及该第3可动件与该第2固定件之间的间隙量;以 及 一第2位置调整装置,根据该检测的间隙量,调整该 第2可动件与该第2固定件的相对位置关系,或调整 该第3可动件与该第2固定件的相对位置关系,或调 整该第2可动件与该第2固定件的相对位置关系及 该第3可动件与该第2固定件的相对位置关系。 14.一种曝光装置,将保持于光罩载台上的光罩的图 案曝光至保持于基板载台上的感光基板上,其特征 在于: 作为该光罩载台或该基板载台,是使用申请专利范 围第1项至第5项中任一项的载台装置。 15.如申请专利范围第6项所述的载台装置,其中该 驱动装置具有:连接于该载台本体的可动件及连接 至该从动载台的固定件,其特征在于该载台装置包 括: 一检出装置,检测该可动件及该固定件之间的间隙 量;以及 一位置调整装置,根据该检测出的间隙量,调整该 可动件及该固定件的相对位置关系。 16.如申请专利范围第6项所述的载台装置,其特征 在于具有:一连结装置,使该导引构件及该从动载 台为解除自如地一体化地连结。 17.如申请专利范围第6项所述的载台装置,其特征 在于包括: 一保持装置,使该载台本体相对于该导引构件,非 接触地于该第1方向上移动自如,且沿该基板的保 持面呈回转自如地被保持着;以及 一回转装置,使该载台本体沿该保持面回转。 18.如申请专利范围第17项所述的载台装置,其特征 在于: 该回转装置具有:设于包挟着该载台本体两侧的该 驱动装置,以及使该两侧的驱动装置相互往反方向 驱动的驱动控制装置。 19.如申请专利范围第6项所述的载台装置,其特征 在于: 该导引构件之往该第2方向的驱动,是由具有第2固 定件的第2驱动装置所进行,且 该从动载台之往该第2方向的驱动,是利用该第2固 定件以进行。 20.如申请专利范围第19项所述的载台装置,其特征 在于包括: 一第2检出装置,检测连接至该导引构件之第2可动 件与该第2固定件之间的间隙量,或检测连接至该 从动载台之第3可动件与该第2固定件之间的间隙 量,或检测该第2可动件与该第2固定件之间的间隙 量及该第3可动件与该第2固定件之间的间隙量;以 及 一第2位置调整装置,根据该检测的间隙量,调整该 第2可动件与该第2固定件的相对位置关系,或调整 该第3可动件与该第2固定件的相对位置关系,或调 整该第2可动件与该第2固定件的相对位置关系及 该第3可动件与该第2固定件的相对位置关系。 21.一种曝光装置,将保持于光罩载台上的光罩的图 案曝光至保持于基板载台上的感光基板上,其特征 在于: 作为该光罩载台或该基板载台,是使用申请专利范 围第6项的载台装置。 22.如申请专利范围第7项所述的载台装置,其中该 驱动装置具有:连接于该载台本体的可动件及连接 至该从动载台的固定件,其特征在于该载台装置包 括: 一检出装置,检测该可动件及该固定件之间的间隙 量;以及 一位置调整装置,根据该检测出的间隙量,调整该 可动件及该固定件的相对位置关系。 23.如申请专利范围第22项所述的载台装置,其特征 在于具有:一连结装置,使该导引构件及该从动载 台为解除自如地一体化地连结。 24.如申请专利范围第23项所述的载台装置,其特征 在于包括: 一保持装置,使该载台本体相对于该导引构件,非 接触地于该第1方向上移动自如,且沿该基板的保 持面呈回转自如地被保持着;以及 一回转装置,使该载台本体沿该保持面回转。 25.如申请专利范围第24项所述的载台装置,其特征 在于: 该回转装置具有:设于包挟着该载台本体两侧的该 驱动装置,以及使该两侧的驱动装置相互往反方向 驱动的驱动控制装置。 26.如申请专利范围第25项所述的载台装置,其特征 在于: 该导引构件之往该第2方向的驱动,是由具有第2固 定件的第2驱动装置所进行,且 该从动载台之往该第2方向的驱动,是利用该第2固 定件以进行。 27.如申请专利范围第26项所述的载台装置,其特征 在于包括: 一第2检出装置,检测连接至该导引构件之第2可动 件与该第2固定件之间的间隙量,或检测连接至该 从动载台之第3可动件与该第2固定件之间的间隙 量,或检测该第2可动件与该第2固定件之间的间隙 量及该第3可动件与该第2固定件之间的间隙量;以 及 一第2位置调整装置,根据该检测的间隙量,调整该 第2可动件与该第2固定件的相对位置关系,或调整 该第3可动件与该第2固定件的相对位置关系,或调 整该第2可动件与该第2固定件的相对位置关系及 该第3可动件与该第2固定件的相对位置关系。 28.一种曝光装置,将保持于光罩载台上的光罩的图 案曝光至保持于基板载台上的感光基板上,其特征 在于: 作为该光罩载台或该基板载台,是使用申请专利范 围第27项的载台装置。 29.一种载台装置,包括:一导引构件,以移动自如的 方式导引着保持基板的一载台本体;以及一基座, 支持该导引构件,其特征在于包括: 一从动载台,使该载台本体进行从动; 该从动载台被配设在比该导引构件更靠近该基座 的一侧。 30.一种载台装置,包括:一导引构件,以移动自如的 方式导引着保持一基板的一载台本体;以及一基座 ,支持该导引构件,其特征在于包括: 一从动载台,使该载台本体进行从动; 该从动载台是设置成与该基座为振动分离的状态 。 31.如申请专利范围第29项或第30项所述的载台装置 ,其特征在于: 该从动载台是中继一资源供给构件,以供给资源至 该载台本体。 32.如申请专利范围第31项所述的载台装置,其特征 在于: 该资源供给构件是透过形成在该基座上的贯通孔, 而由该从动载台中继传送。 33.如申请专利范围第29项或第30项所述的载台装置 ,其特征在于包括: 一驱动装置,驱动该载台本体往该第1方向; 该从动载台连接该驱动装置的一部份,与该导引构 件一同往该第2方向移动。 34.如申请专利范围第29项或第30项所述的载台装置 ,其特征在于: 该从动载台是设置成与该载台本体为振动分离的 状态。 35.如申请专利范围第29项所述的载台装置,其特征 在于: 该从动载台是设置成与该基座为振动分离的状态 。 36.如申请专利范围第30项或第35项所述的载台装置 ,其特征在于: 该从动载台是被一支持部所支持着,该支持部贯通 形成于该基座上的第2贯通孔。 37.一种曝光装置,将保持于光罩载台上的光罩的图 案曝光至保持于基板载台上的感光基板上,其特征 在于: 作为该光罩载台或该基板载台,是使用申请专利范 围第29项或第30项的载台装置。 图式简单说明: 第1图绘示本发明的一实施例之曝光装置的概略构 成图。 第2图绘示构成同一曝光装置的光罩载台的外观斜 视图。 第3图绘示本发明之基板载台装置的全体结构的斜 视图。 第4图绘示第3图的侧面图。 第5图绘示第3图的简略化示图。 第6图仅绘示与从动台6有关的结构之外观斜示图 。 第7图绘示主载台部的概略结构图。 第8图绘示第7图的侧面图。 第9图绘示中继传送缆线类的从动台之局部详细图 。 第10图绘示中继传送缆线类的从动台之局部详细 图。 第11图绘示中继传送缆线类的从动台之局部详细 图。 第12图绘示在第7图中使Y滑架回转后之图。 第13图绘示Y滑架回转的时候,线性马达与空气轴承 之动作相配合的关系图。 第14图绘示液晶显示装置的制造工程之一例示的 流程图。 第15图绘示习知的基板载台装置之一例示的外观 斜视图。 |
