| 主权项 |
1.一种振动隔离装置,系用以隔离一振动源与一载 件,其系包括: 承载台,系用以承载该载件; 外壳,系设置于该振动源上,且围置出一容置空间; 盖板,系封盖于该容置空间之上方; 基座,系设置于该容置空间中并延伸出该盖板而与 该承载台连接; 复数个连接件,系设置于该容置空间中,并位于该 基座之周围,且每一连接件系分别与该基座及该盖 板连接;以及 复数个致动件,系分别设置于每一连接件中,以于 该振动源振动时改变该连接件与基座之振动,俾维 持该承载台振动为最小。 2.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 连接件、基座与盖板系形成一单摆结构,以于该振 动源水平振动时摆动,俾维持该承载台水平振动为 最小。 3.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 致动件系为一压电致动器。 4.如申请专利范围第3项之振动隔离装置,其中,该 压电致动器系由压电陶瓷材料所制成。 5.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 致动件系为线性马达与旋转马达所组成之组群之 一者。 6.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 致动件系藉由改变其尺寸而改变该连接件与基座 之振动大小。 7.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 致动件系设置于该连接件之约略中央位置。 8.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 致动件系设置于该盖板上方之连接件中。 9.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 致动件系设置于该基座下方之连接件中。 10.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 连接件系为长短两连杆之组合。 11.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 连接件系选自由杆件与索所组成之组群之一者。 12.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 连接件之数目系为三个,且系等距设置于该基座之 周围。 13.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 基座中系设置有一感测件,以量测该承载台之振动 讯号,俾控制该致动件。 14.如申请专利范围第13项之振动隔离装置,其中,该 感测件系为一速度规。 15.如申请专利范围第13项之振动隔离装置,其中,该 感测件系为一加速规。 16.如申请专利范围第13项之振动隔离装置,其中,该 感测件与该致动件系均分别连接至一外界控制器 。 17.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 连接件与该基座系藉由轴承而连接,并藉由一支撑 座与止推件而固定。 18.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 连接件与该盖板间系藉由轴承而连接,并藉由一支 撑座与止推件而固定。 19.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 承载台与该载件间系间隔有一弹性物体。 20.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 承载台与该盖板系未接触。 21.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 外壳系围置成一圆筒状。 22.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 外壳系围置成一方形。 23.如申请专利范围第1项之振动隔离装置,其中,该 外壳为二支以上之支柱。 图式简单说明: 第1图系本发明之振动隔离装置的第一实施例剖视 图; 第2图系本发明之振动隔离装置的第二实施例剖视 图; 第3图系本发明之振动隔离装置的第三实施例剖视 图; 第4图系习知主被动隔振装置之侧视图;以及 第5图系美国专利第6,209,841号案所揭示之振动隔离 装置侧视图。 |
