| 主权项 |
1.一种晶圆承载固定装置,用以供晶圆片置设固定, 包括: 一环形框体,设有一供晶圆片贴接的内凸缘面及一 形成于内凸缘面上方的端面;以及 一对固定机构,该固定机构包含一固定连接在框体 的固定元件、一枢接在固定元件的扣固片、及一 对应于扣固片之位置并固定在框体的磁性元件,该 磁性元件系用以对扣固片进行磁性吸附,并使扣固 片压掣固定在晶圆片上。 2.如申请专利范围第1项所述之晶圆承载固定装置, 其中该框体之内凸缘面外侧向上延伸有一倾斜面, 于倾斜面之末端延伸有所述的端面,该端面系与内 凸缘面相互平行。 3.如申请专利范围第1项所述之晶圆承载固定装置, 其中该端面上等距开设有复数个螺孔,该固定元件 为螺丝,并于其上设有一开口槽,另所述之扣固片 成形有一枢轴,该开口槽系套接于枢轴,而固定元 件则与螺孔相螺接。 4.如申请专利范围第3项所述之晶圆承载固定装置, 其中各该螺孔之两侧分别设有凹孔,所述之磁性元 件系迫入凹孔而固接。 5.如申请专利范围第1项所述之晶圆承载固定装置, 其中该扣固片系为一磁性体。 6.如申请专利范围第1项所述之晶圆承载固定装置, 其中该扣固片系为一金属板片。 7.如申请专利范围第1项所述之晶圆承载固定装置, 其中该扣固片在远离固定元件之一端成形有一倒 「U」形扣部,该扣部用以对所述之晶圆片压掣固 定。 8.如申请专利范围第1项所述之晶圆承载固定装置, 其中该磁性元件系为一永久磁铁。 图式简单说明: 第一图 系习知之承载固定装置之组合示意图。 第二图 系本创作之组合示意图。 第三图 系本创作之局部立体分解放大图。 第四图 系第三图之组合示意图。 第五图 系本创作之局部组合剖视图。 第六图 系本创作用于供晶圆片置放之剖视图。 第七图 系本创作与晶圆片之组合外观图。 |
