| 主权项 |
1.一种传送和载入一光罩于接收站上的方法,包括 的步骤有: (a)以一具有耦合至固定板的光罩板之端效应器,自 一储存设备收回光罩,固定板连接端效应器至一机 器手臂; (b)在光罩已于一离线对准站中预对准以后,将光罩 安装于光罩板上;及 (c)自离线对准站传送光罩至接收站,同时在传送期 间维持预对准且提供刚性。 2.如申请专利范围第1项之方法,其中又包括的步骤 有: (d)在光罩输送期间锁定光罩板而顶住固定板;及 (e)在光罩的捡取与放下期间使光罩脱离固定板。 3.如申请专利范围第1项之方法,其中又包括的步骤 有: (d)允许光罩板的平面外移动;及 (e)限制光罩板的平面外移动。 4.如申请专利范围第1项之方法,其中又包括的步骤 有: (d)如果侦测到真空破裂,则使端效应器的移动停止 ;及 (e)维持光罩安装。 5.如申请专利范围第1项之方法,其中光罩板是真空 板。 6.如申请专利范围第5项之方法,其中该安装步骤包 括的的步骤有: (i)从第一真空源对真空板供应至少一初级真空陆 地上;及 (ii)从第二真空源对真空板供应至少一次级真空陆 地上。 7.如申请专利范围第1项之方法,其中又包括的步骤 有: (d)自光罩移除颗粒污染。 8.如申请专利范围第1项之方法,其中步骤(b)包括的 步骤有: (i)藉由电磁线圈驱动的夹子安装光罩于光罩板上 。 9.如申请专利范围第1项之方法,其中步骤(b)包括的 步骤有: (i)藉由安置于光罩板上的静电荷安装光罩于光罩 板上。 10.如申请专利范围第1项之方法,其中又包括的步 骤有: (d)在光罩输送期间,使用一气压驱动的电磁线圈锁 定装置锁定光罩板而顶住固定板;及 (e)在光罩的捡取与放下期间使光罩板脱离固定板 。 11.一种用于处理待输送至接收站的光罩之端效应 器,包含: 一具有至少一用于安装光罩的密封件之光罩板,其 中光罩板也具有一用于接合光罩至光罩板的安装 装置;及 一耦合至光罩板的固定板。 12.如申请专利范围第11项之端效应器,其中光罩板 是真空板。 13.如申请专利范围第12项之端效应器,其中真空板 具有一第一侧与一第二侧,第一侧具有至少一用于 安装光罩的密封件,且第二侧具有至少一用于执行 光罩接合的真空功能之真空陆地;及 一耦合至真空板之第二侧的固定板,固定板具有至 少一用于供应真空到至少一真空陆地的真空源。 14.如申请专利范围第13项之端效应器,其中真空板 又包括: 至少一位于光罩板的顶表面上以允许光罩板之平 面外移动的挠曲部,至少一挠曲部延伸通过光罩板 且接合至固定板。 15.如申请专利范围第14项之端效应器,其中光罩板 又包括: 至少一位于光罩板的第一侧上以限制光罩板之移 动的行进止动件,至少一行进止动件延伸通过光罩 板且接合至固定板。 16.如申请专利范围第11项之端效应器,其中端效应 器耦合至一用于连接端效应器至机器手臂的安装 托架。 17.如申请专利范围第13项之端效应器,其中至少一 真空陆地是次级与初级真空陆地的组合。 18.如申请专利范围第11项之端效应器,其中一真空 锁整合于固定板与光罩板之间,以锁定光罩板而顶 住固定板。 19.如申请专利范围第11项之端效应器,其中一气压 驱动的电磁线圈锁定装置整合于固定板与光罩板 之间,以锁定光罩板而顶住固定板。 20.如申请专利范围第14项之端效应器,其中至少一 挠曲部是由一群挠曲部所形成之三角形的顶点。 21.如申请专利范围第13项之端效应器,其中至少一 密封件能够破裂。 22.如申请专利范围第16项之端效应器,其中安装托 架能够以30度角与40度角转动。 23.如申请专利范围第11项之端效应器,其中光罩板 使光罩上的颗粒污染减少。 24.如申请专利范围第13项之端效应器,其中至少一 真空源是一真空的管。 25.如申请专利范围第13项之端效应器,其中至少一 真空源是一密封通道。 26.如申请专利范围第11项之端效应器,其中光罩由 一电磁线圈驱动的夹子安装于光罩板上。 27.如申请专利范围第11项之端效应器,其中光罩由 一静电荷安装于光罩板上。 28.一种用于处理待输送至接收站的光罩之端效应 器,包含: 用于支持光罩的装置; 用于接合光罩至用于支持光罩的装置之装置;及 一用于耦合端效应器至一机器手臂的装置。 29.如申请专利范围第28项之端效应器,其中用于支 持光罩的装置具有 一第一侧与一第二侧,该第一侧具有一用于安装光 罩的密封装置,该用于支持光罩的装置具有至少一 用于执行真空功能的真空装置;及 用于耦合端效应器至一机器手臂的装置耦合至用 于支持光罩的装置之第二侧,用于耦合端效应器至 机器手臂的装置具有至少一用于供应真空至真空 装置的真空源装置。 30.如申请专利范围第28项之端效应器,其中用于支 持光罩的装置又包括: 用于允许用于支持光罩的装置之平面外移动的装 置用于允许平面外移动的装置位在用于支持光罩 的装置之第一侧。 31.如申请专利范围第28项之端效应器,其中用于支 持光罩的装置又包括: 用于限制用于支持光罩的装置之移动的装置,用于 限制移动的装置延伸通过用于支持光罩的装置,且 安装至用于耦合端效应器至机器手臂的装置。 32.如申请专利范围第28项之端效应器,其中端效应 器耦合至用于连接端效应器至一机器手臂的装置 。 33.如申请专利范围第29项之端效应器,其中至少一 真空装置是是次级与初级真空装置的组合。 34.如申请专利范围第28项之端效应器,其中一装置- 其用于锁定用于支持光罩的装置而顶住用于耦合 端效应器至机器手臂的装置-位在用于支持光罩的 装置与用于耦合端效应器至机器手臂的装置之间 。 35.如申请专利范围第30项之端效应器,其中用于允 许用于支持光罩的装置之平面外移动的装置是由 一群用于允许平面外移动的装置所形成之三角形 的顶点。 36.如申请专利范围第29项之端效应器,其中至少一 密封件装置能够破裂。 37.如申请专利范围第32项之端效应器,其中用于连 接端效应器至机器手臂的装置能够以30度角与40度 角转动。 38.如申请专利范围第28项之端效应器,其中用于接 合光罩的装置使光罩上的颗粒污染减少。 39.如申请专利范围第29项之端效应器,其中至少一 真空源是一真空的管。 40.如申请专利范围第29项之端效应器,其中至少一 真空源是一密封通道。 41.如申请专利范围第28项之端效应器,其中光罩由 一电磁线圈驱动的夹子安装在用于支持光罩的装 置上。 42.如申请专利范围第28项之端效应器,其中光罩藉 由一安置在用于支持光罩的装置上的静电荷而安 装在用于支持光罩的装置上。 43.一种光罩移动系统,包含: 一连接系统; 一光罩板,其包括接收该连接系统的连接区; 一固定板,其经由该连接系统而耦合至该光罩板; 一机器手臂;和 一连接器,其耦合该固定板至机器手臂, 其中该连接系统使该光罩板在第一至第三自由度 上刚性的固定至固定板,和在第四至第六自由度上 顺应的固定至固定板。 44.如申请专利范围第43项之系统,其中该连接系统 包含: 挠曲部,其位在该光罩板的连接区中; 第一组固定装置,其将挠曲部固定至该光罩板;和 第二组固定装置,其将固定板固定至光罩板和挠曲 部。 45.如申请专利范围第44项之系统,其中该连接系统 进一步包含: 一锁装置,其可释放的固定该固定板至该光罩板。 46.如申请专利范围第45项之系统,其中该锁装置为 一真空锁。 47.如申请专利范围第43项之系统,其中该光罩板进 一步包含一光罩固定系统,用以可释放的保持一光 罩。 48.如申请专利范围第47项之系统,其中该光罩固定 系统包含一真空系统。 49.如申请专利范围第48项之系统,其中该真空系统 包含陆地和密封件。 50.如申请专利范围第43项之系统,其中第一至第三 自由度实质消除光罩板相对于固定板的平面外移 动。 51.如申请专利范围第43项之系统,其中第四至第六 自由度允许光罩板相对于固定板的一预定量的平 面内移动。 52.如申请专利范围第43项之系统,其中该机器手臂 在第一状态保持光罩板和固定板在水平位置,和在 第二状态保持光罩板和固定板在垂直位置。 53.一种光罩移动系统,包含: 一光罩板; 一固定板; 一连接机构,用以连接一光罩板至一固定板,以实 质消除光罩板相对于固定板的平面外移动,和允许 光罩板相对于固定板的一预定量的平面内移动; 一机器手臂;和 一连接器,其使用以耦合该固定板至机器手臂。 54.如申请专利范围第53项之系统,其中该连接机构 包含: 挠曲部,其位在该光罩板的连接区中; 第一组固定装置,其将挠曲部固定至该光罩板;和 第二组固定装置,其将固定板固定至光罩板和挠曲 部。 55.如申请专利范围第54项之系统,其中该连接机构 进一步包含: 一锁装置,其位在和光罩板交互作用的固定板的一 表面上,且该锁装置可释放的固定该固定板至该光 罩板。 56.如申请专利范围第55项之系统,其中该锁装置为 一真空锁。 57.如申请专利范围第53项之系统,其中该光罩板进 一步包含一固定机构,用以固定一光罩至该光罩板 。 58.如申请专利范围第57项之系统,其中该固定机构 包含一真空系统。 59.如申请专利范围第58项之系统,其中该真空系统 包含陆地和密封件。 60.如申请专利范围第53项之系统,其中该机器手臂 在第一状态保持光罩板和固定板在水平位置,和在 第二状态保持光罩板和固定板在垂直位置。 61.一种光罩移动系统,包含: 一连接系统; 一光罩板,其包括接收该连接系统的连接区; 一固定板,其经由该连接系统而耦合至该光罩板; 一机器手臂;和 一连接器,其使用以耦合该固定板至机器手臂, 其中该连接系统实质消除光罩板相对于固定板的 平面外移动,和允许光罩板相对于固定板的一预定 量的平面内移动。 62.一种传送和载入一光罩于接收站上的方法,包含 : 使用一连接系统在第一至第三自由度上以刚性的 固定一光罩板至一固定板;和 使用一连接系统在第四至第六自由度上以顺应的 固定一光罩板至一固定板。 63.如申请专利范围第62项之方法,进一步包含: 定位挠曲部在光罩板的连接区中; 固定挠曲部至光罩板;和 固定固定板至光罩板和挠曲部。 64.如申请专利范围第63项之方法,进一步包含: 可释放的固定固定板至光罩板。 65.如申请专利范围第64项之方法,其中可释放的固 定步骤包含使用真空锁当成锁装置。 66.如申请专利范围第62项之方法,进一步包含: 可释放的保持光罩在光罩板上。 67.如申请专利范围第66项之方法,其中可释放的保 持步骤包含使用真空系统。 68.如申请专利范围第66项之方法,其中可释放的保 持步骤包含使用在一真空系统中的陆地和密封件 。 69.如申请专利范围第62项之方法,其中第一至第三 自由度实质的消除光罩板相对于固定板的平面外 移动。 70.如申请专利范围第62项之方法,其中第四至第六 自由度允许光罩板相对于固定板的预定量平面内 移动。 71.如申请专利范围第62项之方法,进一步包含: 在第一状态时保持光罩板和固定板在水平位置,和 在第二状态时保持在垂直位置。 72.一种传送和载入一光罩于接收站上的方法,包含 : 连接一光罩板至一固定板以实质的消除光罩板相 对于固定板的平面外移动,和允许光罩板相对于固 定板的预定量平面内移动;和 耦合固定板至一机器手臂。 73.如申请专利范围第72项之方法,其中该连接步骤 包含: 定位挠曲部在光罩板的连接区中; 固定挠曲部至光罩板;和 固定固定板至光罩板和挠曲部。 74.如申请专利范围第73项之方法,其中该连接步骤 进一步包含: 可释放的固定固定板至光罩板。 75.如申请专利范围第74项之方法,其中可释放的固 定步骤包含使用真空锁当成锁装置。 76.如申请专利范围第72项之方法,进一步包含: 可释放的保持光罩在光罩板上。 77.如申请专利范围第76项之方法,其中可释放的保 持步骤包含使用真空系统。 78.如申请专利范围第76项之方法,其中可释放的保 持步骤包含使用在一真空系统中的陆地和密封件 。 79.如申请专利范围第72项之方法,进一步包含: 在第一状态时保持光罩板和固定板在水平位置,和 在第二状态时保持在垂直位置。 图式简单说明: 图1是光罩处理平台之方块图。 图2是耦合至依据本发明之一实施例的机器手臂接 头之端效应器的前透视图。 图3是耦合至依据本发明之一实施例的机器手臂接 头之端效应器的后透视图。 图4是依据本发明之一实施例的光罩板与它的相关 特性图。 图5是依据本发明之一实施例的真空板与它的相关 特性图。 图6是依据本发明之一实施例的固定板-其使用一 真空板-之图。 图7是依据本发明之一实施例的机器手臂接头-其 使用一真空板-之图。 图8是依据本发明之一实施例的端效应器之不同移 动位置图。 |
