| 发明名称 | 实时监控有效显影液浓度的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为：通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于：用分光光度法测量碳酸根浓度[CO<SUB>3</SUB><SUP>2－</SUP>]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]：式I [TM]＝[TM′]－2[CO<SUB>3</SUB><SUP>2－</SUP>]。通过本发明的方法可以简单地、有效地、更准确地测量出显影液的实际浓度；本发明的方法还可适用于液晶、半导体光刻制程中的显影液浓度实时监控和管理。 | ||
| 申请公布号 | CN1996152A | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200510112266.6 | 申请日期 | 2005.12.28 |
| 申请人 | 上海广电NEC液晶显示器有限公司 | 发明人 | 徐华伟 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01);G03F7/26(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/30(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 薛琦 |
| 主权项 | 1、一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为：通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于：用分光光度法测量碳酸根浓度[CO3 2-]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]：式I [TM]＝[TM′]-2[CO3 2-]。 | ||
| 地址 | 201108上海市闵行区华宁路3388号 | ||