双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器

摘要

双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器，其特征是左右两个压电致动器沿形变方向以机械串联的方式固定连接构成各自独立可控的二连体；二连体沿其形变方向分为中区、左区及右区，设置与二连体在其形变方向上滑动配合的基体，在垂直于二连体形变方向上设置将二连体或固定于其上的受力垫与基体相压的正压力，在基体与二连体三个区中分别形成摩擦力，其中任一个区的最大静摩擦力不大于其它两个区最大静摩擦力之和。本发明仅需两个压电致动器，一体化结构，易于微型化和集成，双向可控行走，推力大，工作温区大，行程大，精度高，还适合于在超低温、超高真空、强磁场等极端物理环境中工作。

主权项

1、双压电体线性纳米定位压电驱动器，其特征是：左右两个压电致动器沿形变方向以机械串联的方式固定连接构成各自独立可控的二连体；所述二连体沿其形变方向以各压电致动器的中截面为界分为三个区，包括位于两中截面之间的中区和分处在其两侧的左区及右区，设置与所述二连体在其形变方向上为滑动配合的基体，在垂直于二连体形变方向上设置将二连体或固定于其上的受力垫与基体相压的正压力，二连体形变时在基体与二连体三个区中分别形成摩擦力，其中任一个区的最大静摩擦力不大于其它两个区最大静摩擦力之和；所述基体与二连体三个区之间的摩擦力形成在基体与二连体之间和/或基体与受力垫之间。