发明名称 | 孔内侧表面的检测装置和方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种孔、凹进部分等等内侧表面的检测装置和方法。所述装置(1)包括一产生光束(4)的光源(3),其中所述光束(4)通过投射镜片(7)聚焦及所述聚焦光束被引导到所述表面(9)上。设有一传感器(11)以探测所述反射光束(10)。本发明目的在于提供一种装置,其可使测量尽量快速及简易以及其可轻易地微型化。为了达到这目的,通过所述光源(3)产生多色光束(4),由于所述投射镜片(7)的色差,所述光束会被聚焦在离所述投射镜片(7)不同距离的多点上。从所述探测光束(10)光谱可以确定离所述表面(9)的距离。 | ||
申请公布号 | CN1997871A | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
申请号 | CN200580021039.0 | 申请日期 | 2005.05.17 |
申请人 | 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 | 发明人 | B·梅塞施米特;K·维斯培特纳 |
分类号 | G01B11/30(2006.01) | 主分类号 | G01B11/30(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈炜 |
主权项 | 1.一种孔、凹进部分等等内侧表面的检测装置,其中所述装置(1)包括一产生光束(4)的光源(3),其中所述光束(4)通过成像光学器件(7)聚焦,所述聚焦光束能反射到所述表面(9)上,以及设有一传感器(11)以探测自所述表面(9)反射的光束(10),其特征在于,通过所述光源(3)产生多色光束(4),由于所述成像光学器件(7)的色差,所述光束会被聚焦在离所述成像光学器件(7)不同距离的多点上以及从所述探测光束(10)光谱可以确定离所述表面的距离。 | ||
地址 | 德国奥滕伯格 |