发明名称 孔内侧表面的检测装置和方法
摘要 本发明涉及一种孔、凹进部分等等内侧表面的检测装置和方法。所述装置(1)包括一产生光束(4)的光源(3),其中所述光束(4)通过投射镜片(7)聚焦及所述聚焦光束被引导到所述表面(9)上。设有一传感器(11)以探测所述反射光束(10)。本发明目的在于提供一种装置,其可使测量尽量快速及简易以及其可轻易地微型化。为了达到这目的,通过所述光源(3)产生多色光束(4),由于所述投射镜片(7)的色差,所述光束会被聚焦在离所述投射镜片(7)不同距离的多点上。从所述探测光束(10)光谱可以确定离所述表面(9)的距离。
申请公布号 CN1997871A 申请公布日期 2007.07.11
申请号 CN200580021039.0 申请日期 2005.05.17
申请人 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 发明人 B·梅塞施米特;K·维斯培特纳
分类号 G01B11/30(2006.01) 主分类号 G01B11/30(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 陈炜
主权项 1.一种孔、凹进部分等等内侧表面的检测装置,其中所述装置(1)包括一产生光束(4)的光源(3),其中所述光束(4)通过成像光学器件(7)聚焦,所述聚焦光束能反射到所述表面(9)上,以及设有一传感器(11)以探测自所述表面(9)反射的光束(10),其特征在于,通过所述光源(3)产生多色光束(4),由于所述成像光学器件(7)的色差,所述光束会被聚焦在离所述成像光学器件(7)不同距离的多点上以及从所述探测光束(10)光谱可以确定离所述表面的距离。
地址 德国奥滕伯格