高真空卷式镀膜机构

摘要

一种高真空卷式镀膜机构，主要包含有两真空腔体及至少一组以上的溅镀装置所构成，其中真空腔体是以腔室及一盖体所构成，腔室内部设置有卷布轴、传动轴、滚轴、校正滚动条及张力控制滚动条等带动及输送被镀素材的机傋，两真空腔体内部皆设有卷布轴，该卷布轴是将被镀素材固定设置，被镀素材为成卷绕设在卷布轴，被镀素材是分别绕经传动轴、滚轴、校正滚动条、张力控制滚动条，并进入溅镀装置内进行溅镀作业，以提供被镀素材具有单面或是双面的镀膜层，经过高压放电溅镀的被镀素材再经张力控制滚动条、校正滚动条的中心校正、整平后将完成镀附薄膜的被镀素材卷收成卷。

主权项

1、一种高真空卷式镀膜机构，其特征在于，该机构是由两真空腔体及至少一组以上的溅镀装置所组成；其中，真空腔体是由腔室及一盖体所构成，设置有用于固定被镀素材的卷布轴，用来传导绕性素材运动的传动轴和滚轴，以及校正滚动条，张力滚动条；两真空腔体之间设置进行溅镀作业的溅镀装置。