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发明名称 Replaceable anode liner for ion source
摘要
申请公布号 GB2434027(A) 申请公布日期 2007.07.11
申请号 GB20060022336 申请日期 2005.05.18
申请人 INFICON INC 发明人 ROBERT E ELLEFSON;LOUIS C FREES
分类号 H01J49/14;H01J1/36;H01J27/20;H01J49/10 主分类号 H01J49/14
代理机构 代理人
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