| 发明名称 | 基板搬送装置及基板支承体 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板搬送装置，即使在搬送大型基板时，也能够将基板保持在基本水平的状态。就拾取部(202)来说，在其基端部，使用沿垂直方向牵引该拾取部的牵引螺钉(210)以及在垂直方向按压拾取部(202)的按压螺钉(211)，将该拾取部固定在拾取部基部(201)上，从其基端部侧朝向前端部侧与水平轴形成规定的角度向斜上方延伸，前端部的高度位置位于高于其基端部(由拾取部基部(201)形成的支承端)的位置上。 | ||
| 申请公布号 | CN1994841A | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200710001578.9 | 申请日期 | 2007.01.08 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 冈部星儿;天野健次 |
| 分类号 | B65G49/06(2006.01);B65G49/07(2006.01);G02F1/1333(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | B65G49/06(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种搬送基板的基板搬送装置，其特征在于，包括：支承基板的基板支承体，其具有连结在共用的拾取部基部上的多个拾取部；可以滑动地支承所述基板支承体，同时可以自行在水平方向上进退的搬送臂；和驱动所述搬送臂的驱动部，使所述拾取部倾斜，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||