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发明名称
Enhanced multi-component oxide-containing sputter target alloy compositions
摘要
申请公布号
EP1717337(A3)
申请公布日期
2007.07.11
申请号
EP20050255240
申请日期
2005.08.25
申请人
HERAEUS, INC.
发明人
RACINE, MICHAEL GENE;KENNEDY, STEVEN ROGER;DAS, ANIRBAN;CHENG, YUANDA R
分类号
C23C14/34;G11B5/64;G11B5/851
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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