检测系统

摘要

一种用于对衬底(12)上的微小物体(11)进行三维检测的检测系统(10)，该系统包括：校准模块(20)，用于对捕捉物体的倾斜图像所用的检测角(30)进行校准，对检测角的校准是通过用一个物体作为参考而进行的；至少一个图像捕捉器(23)，用于捕捉物体的第一图像并捕捉物体的倾斜图像；图像处理器(24)，用第一图像确定物体位置，并用倾斜图像和第一图像来确定物体高度；其中，如果物体高度不在预定判据范围内，则将其归类为有缺陷，并对有缺陷物体的位置进行识别。

主权项

1.一种用于对衬底上的微小物体进行三维检测的检测系统，包括：校准模块，用于对捕获所述物体的倾斜图像所用的检测角进行校准，对所述检测角的校准是通过使用一个物体作为参考来进行的；至少一个图像捕捉器，用于捕捉所述物体的第一图像，并捕捉所述物体的倾斜图像；以及图像处理器，用于使用所述第一图像确定所述物体的位置，并使用所述倾斜图像和所述第一图像确定所述物体的高度；其中，如果所述物体的高度不在预定判据范围内，则将其归类为有缺陷，并对所述有缺陷物体的位置进行识别。