| 发明名称 | 检查设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明的检查设备以及检查方法提供了提高的清晰度。所述检查设备包括：平台，用于支撑将被检查的物件；光学显微镜，设置有接近所述平台和从所述平台退回的物镜，以检查物件；观察口透镜，介于所述物件和所述物镜之间，并且具有预定的曲率半径。 | ||
| 申请公布号 | CN1995988A | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200710001533.1 | 申请日期 | 2007.01.04 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 白东石;徐济琓;片希秀;田炳焕;崔龙镐 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01);G01N21/84(2006.01) | 主分类号 | G01N21/88(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭鸿禧;韩素云 |
| 主权项 | 1、一种检查设备：包括：平台，用于支撑将被检查的物件；光学显微镜，设置有接近所述平台和从所述平台退回的物镜，以检查物件；观察口透镜，介于所述物件和所述物镜之间，并且具有预定的曲率半径。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416 | ||