TFT阵列基板D断线的判断方法

摘要

本发明公开了一种提高TFT阵列基板生产过程中，提高漏线(D线)断线检查准确率和抓取率的方法，在现有VCS分类中，将其中的d_open断线类型，根据新的标准，再细分为d_lack、d_open1、d_open2、d_open3、d_open4五种特殊类型。由于给出了这五种具有不同特征的D断与其他非D断类型之间的差异，减少了不同特征的d_open与其他非d_open的缺陷类型由于特征上相似而导致的误判，可以方便的改善现有的对应处理方法，提高了d_open检出的准确率和抓取率。

主权项

1、一种判断TFT阵列基板D断线的方法，其特征在于，将d_open断线类型分为五个子类。