发明名称 ANTIREFLECTIVE COMPOSITIONS FOR PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP1805561(A2) 申请公布日期 2007.07.11
申请号 EP20050812626 申请日期 2005.09.15
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 WU, HENGPENG;DING-LEE, SHUJI;XIANG, ZHONG;HISHIDA, ARITAKA;SHAN, JIANHUI;ZHUANG, HONG
分类号 G03F7/09 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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