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发明名称 Integrated gyroscope of semiconductor material with at least one sensitive axis in the sensor plane
摘要
申请公布号 EP1365211(B1) 申请公布日期 2007.07.11
申请号 EP20020425320 申请日期 2002.05.21
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 SPINOLA DURANTE, GUIDO;ZERBINI, SARAH;MERASSI, ANGELO
分类号 G01C19/56;G01P15/00;G01P15/125 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
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