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发明名称 A SIX DEGREE OF FREEDOM (DOF) ACTUATOR REACTION MASS
摘要
申请公布号 EP1805544(A1) 申请公布日期 2007.07.11
申请号 EP20050817929 申请日期 2005.10.18
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 VAN DEUREN, FRANZ;VISSER, H., D.;STOMMEN, BERNARD;VAN AERT, J.;MATEBOER, A., J.
分类号 G02B7/182;F16F15/02;G03F7/20 主分类号 G02B7/182
代理机构 代理人
主权项
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