| 发明名称 |
镀膜用转盘及镀膜机 |
| 摘要 |
本发明提供一种镀膜用转盘，其包括：一个转盘本体；设置在该转盘本体上的至少一个安装口；至少一个基片夹具，每个基片夹具对应收容在一个安装口内；每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。本发明提供的镀膜用转盘避免手动翻转而导致的真空抽气模组、加热器、镀膜靶及充气孔等元件的重复使用，从而，减小设备损耗，降低设备成本。另外，本发明还提供使用上述镀膜用转盘的镀膜机。 |
| 申请公布号 |
CN1995444A |
申请公布日期 |
2007.07.11 |
| 申请号 |
CN200610032815.3 |
申请日期 |
2006.01.06 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
李欣和;董才士 |
| 分类号 |
C23C14/22(2006.01);C23C14/56(2006.01);G02B1/10(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/22(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种镀膜用转盘，其包括一个转盘本体及至少一个基片夹具，其特征在于，该镀膜用转盘还包括设置在该转盘本体上的至少一个安装口，每个基片夹具对应收容在一个安装口内，每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
