主权项 |
1.至少一个容器(12)的处理方法,其旨在通过微波等离子体的方法涂覆一形成屏障层的内覆盖层,所述容器特别是为了在所述容器(12)内容装氧化敏感的液体,在所述类型的方法中,所述容器(12)放置在与一外部密封关闭的处理围腔(16)内,所述围腔在所述容器(12)外部界定一空腔(18),且所述围腔通过一外部真空管道(20)与一真空泵吸回路(50)相连,所述容器(12)内部通过一内部真空管道(34)与所述泵吸回路(50)相连,所述类型的方法包括一初级步骤(E1),该初级步骤过程中,所述泵吸回路(50)引起所述空腔(18)内部的压力减小直至一称为外部终值(pFext)的确定值,以及引起所述容器(12)内部的压力减小直至一称为内部终值(pFint)的确定值,所述确定值小于所述外部终值(pFext),所述初级步骤(E1)跟随有一处理步骤(E2),该处理步骤过程中,所述终值(pFext、pFint)在所述空腔(18)和容器(12)内被保持,以使得所述容器(12)内可以涂覆一覆盖层,其特征在于,所述初级步骤(E1)连续地包括:-一外部泵吸阶段(P1),该外部泵吸阶段过程中,所述内部真空管道(34)关闭,且所述外部真空管道(20)打开,所述泵吸回路(50)仅引起所述空腔(18)内压力减小直至一中间值(pMext),该确定值大于所述外部终值(pFext),-以及,一内部泵吸阶段(P2),该内部泵吸阶段过程中,所述外部真空管道(20)关闭,且所述内部真空管道(34)打开,所述泵吸回路(50)仅引起所述容器(12)内压力减小直至所述内部终值(pFint)。 |