| 发明名称 | 一种灯丝引出杆绝缘结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种离子注入机的离子源，特别涉及一种长寿命离子源的灯丝引出杆绝缘结构，属于半导体器件制造领域；针对现有长寿命离子源技术中灯丝引出杆电位高、绝缘体容易受高温离子溅射而污染的问题，提出了一种灯丝引出杆绝缘结构，满足离子源的高可靠性及长使用寿命要求，在一绝缘块3上固定连接有一灯丝引线铜杆1，其间设有密封圈2，在灯丝引线铜杆1四周设有通入冷却水的灯杆水冷套4，结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点；结构连接操作方便；绝缘及防污染爬电性能优越，可靠性高。 | ||
| 申请公布号 | CN2922114Y | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200620113059.2 | 申请日期 | 2006.04.24 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 伍三忠;戴毛;唐景庭;刘仁杰 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01);H01J37/317(2006.01);H01L21/265(2006.01) | 主分类号 | H01J37/08(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曾永珠 |
| 主权项 | 1.一种灯丝引出杆绝缘结构，其特征在于：在一绝缘块(3)上固定连接有一灯丝引线铜杆(1)，其间设有密封圈(2)，在灯丝引线铜杆(1)四周设有通入冷却水的灯杆水冷套(4)。 | ||
| 地址 | 100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段 | ||