| 发明名称 | 蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物制造反射板的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了价格低廉的蚀刻液组合物，其使用单一溶液可以同时蚀刻包含SiO<SUB>2</SUB>膜的金属反射层合膜，抑制各膜的侧面腐蚀量并且对于作为光散射层的树脂层没有损伤。即该蚀刻液组合物是用单一溶液同时蚀刻由含有金属反射膜和SiO<SUB>2</SUB>膜的2层以上的膜构成的金属反射层合膜的蚀刻液组合物，其由磷酸、硝酸、醋酸、氢氟酸和水配合而成。 | ||
| 申请公布号 | CN1325697C | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200310120156.5 | 申请日期 | 2003.12.09 |
| 申请人 | 关东化学株式会社;奥博特瑞克斯株式会社 | 发明人 | 清水寿和;景山宪二;宫本孝吉;藤信秀哉 |
| 分类号 | C23F1/16(2006.01);G02F1/1335(2006.01) | 主分类号 | C23F1/16(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈建全 |
| 主权项 | 1.一种蚀刻液组合物，其是以单一溶液同时蚀刻由含有金属反射膜和SiO2膜的2层以上的膜构成的金属反射层合膜的蚀刻液组合物，其是由磷酸、硝酸、醋酸、氢氟酸和水配合而形成的，其中，磷酸的浓度是20.0-50.0重量％，硝酸的浓度是1.0-5.0重量％，醋酸的浓度是20.0-50.0重量％，以及氢氟酸的浓度是0.01-0.30重量％。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||