发明名称 | 碳纳米管的制备 | ||
摘要 | 一种利用含碳气体等离子体通过等离子体增强化学气相沉积法形成碳纳米管的方法,其中碳纳米管不是在300℃或以上的温度下形成在基片上的。 | ||
申请公布号 | CN1325372C | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
申请号 | CN02816343.5 | 申请日期 | 2002.07.26 |
申请人 | 萨里大学 | 发明人 | 森布库提拉哈立芝·拉维·席尔瓦;萨基德·哈库;勃简·O.·勃思克维克 |
分类号 | C01B31/02(2006.01) | 主分类号 | C01B31/02(2006.01) |
代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇 |
主权项 | 1.一种利用含碳气体等离子体通过等离子体增强化学气相沉积法形成碳纳米管的方法,其中碳纳米管或者是在放置于腔内的基片上形成,其中基片温度小于300℃,或者是在腔内形成,并随后沉积在腔外部的基片上。 | ||
地址 | 英国萨里郡 |