| 发明名称 | 局部涂覆分离剂的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及借助蒸发器在真空室内给运动的基体局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂的方法和装置，真空室具有至少一个金属蒸发器，分离剂在第一腔室里被加热蒸发并以蒸气形态通过至少一个伺服阀被转入一个配备有至少一个对准当时的基体的喷嘴的第二腔室。为了在这种情况下能将所蒸发的图形、宽度和层厚保持在小极限范围里并能立即中断蒸气流出而规定：a)尽可能恒定地保持蒸发器温度；b)来自第一腔室的蒸气通过至少一个比例阀受控制地被输入第二腔室并在第二腔室中最初平行于第一腔室地被供给至少一个喷嘴；c)比例阀在基体停止或没有基体时被关闭并保持关闭状态。比例阀安置在第一和第二腔室之间。 | ||
| 申请公布号 | CN1325693C | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200410045687.7 | 申请日期 | 2004.04.30 |
| 申请人 | 应用材料股份有限两合公司 | 发明人 | S·海恩 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01);C23C14/56(2006.01) | 主分类号 | C23C14/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 胡强;赵辛 |
| 主权项 | 1.一种借助一个分离剂蒸发器(1)在蒸发室中给运动的基体(10)局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂(14)的方法，该蒸发室有至少一个用于随后的金属涂覆的金属蒸发器(33)，其中，该分离剂(14)在一个第一腔室(2)里通过借助加热体(3)的加热被蒸发并且以蒸气形态通过至少一个伺服阀被转入一个配备有至少一个对准当时的基体(10)的喷嘴(8)的第二腔室(6)中，其特征在于，a)尽可能恒定地保持蒸发器温度，b)来自该第一腔室(2)的蒸气通过至少一个比例阀(12)受控制地被输入该第二腔室(6)里并且在该第二腔室中最初平行于第一腔室(2)地被供给所述的至少一个喷嘴(8)，c)该比例阀(12)在基体(10)停止或没有基体时被关闭并保持关闭状态。 | ||
| 地址 | 联邦德国阿尔策瑙 | ||