基板处理装置的运行方法

摘要

基板处理装置(10)设有基板输送室(12)，通过水平移动机构使存储有以垂直或实质上垂直状态支承基板的基板支承托架中一个基板的支承托架的存储托架(301)以及存储了两块基板支承托架的存储托架(302)移动至基板输送位置，在该位置处，能够进行基板支承托架在基板处理室(16)以及加载锁定室(20，22)的室组中任意室彼此之间的输入或输出移动，在基板处理装置中的一个加载锁定腔室中产生故障的情况下，不使用与故障相关的加载锁定室，可继续使基板支承托架在这些室之间移动。

主权项

1.一种基板处理装置的运行方法，该基板处理装置设有：三台或三台以上的基板支承托架；基板输送室，所述基板输送室装有基板支承托架存储装置，而所述基板支承托架存储装置存储所述基板支承托架；基板处理室，所述基板处理室对所述基板支承托架支承的基板实施处理；加载锁定室，所述加载锁定室在大气气氛以及真空气氛之间进行基板的输入和输出；水平移动机构，所述水平移动机构使所述基板支承托架沿着与所述基板支承托架的输入、输出方向垂直的方向水平移动，其中，通过由所述水平移动机构控制所述基板支承托架的移动，进行所述基板支承托架在所述基板处理室与所述加载锁定室之间的移动，并且，在基板处理室、加载锁定室或基板输送室发生故障的情况下，所述水平移动机构利用剩余的正常工作的部分继续进行所述基板支承托架的移动。