发明名称 GATE AND CMOS STRUCTURE AND MOS STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP1376702(A4) 申请公布日期 2007.07.11
申请号 EP20020705064 申请日期 2002.03.01
申请人 NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE 发明人 CHIKYO, TOYOHIRO;IMAI, MOTOHARU
分类号 H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/49;(IPC1-7):H01L29/49 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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