| 发明名称 |
UTILISATION DE LA TRANSFORMEE DE FOURIER OPTIQUE POUR LE CONTROLE DIMENSIONNEL EN MICROELECTRONIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2859781(B1) |
申请公布日期 |
2007.07.06 |
| 申请号 |
FR20030050560 |
申请日期 |
2003.09.17 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
PETIT JEROME;CHATON PATRICK;GRAND GILLES;LEROUX THIERRY |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/30;G01N21/956 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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