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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTROSTATISCHEN MEMS-EINSPANNVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE602004006639(D1) 申请公布日期 2007.07.05
申请号 DE200460006639T 申请日期 2004.10.28
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC. 发明人 KELLERMAN, PETER;QIN, SHU;ALLEN, ERNIE;BROWN, DOUGLAS
分类号 H01L21/68;H01L21/683 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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