| 发明名称 |
MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING A CAP |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Substrat (1), mit einer mikromechanischen Funktionsschicht (2), mit einer Kaverne (4) und mit einer Kappe (3), welche die Kaverne (4) begrenzt. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die Kappe (3) eine leitfähige Schicht (100) aufweist.</p> |
| 申请公布号 |
WO2007074017(A1) |
申请公布日期 |
2007.07.05 |
| 申请号 |
WO2006EP69123 |
申请日期 |
2006.11.30 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH;SCHMITZ, VOLKER;GROSSE, AXEL |
发明人 |
SCHMITZ, VOLKER;GROSSE, AXEL |
| 分类号 |
B81B7/00 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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