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Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung des Abstands (Z) einer zu untersuchenden Probe (12) von mindestens einem Referenzpunkt (19, 21). Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, die unabhängig von der Art der Probe arbeiten, wobei das Verfahren einfach durchzuführen sowie die Vorrichtung einfach ausgestaltet ist. Die Erfindung schlägt hierzu vor, einem ersten Potential einer Probe (12) ein Signal aufzumodulieren und der Probe (12) einen Primärteilchenstrahl zuzuführen, wobei aufgrund einer Wechselwirkung ein Sekundärteilchenstrahl erzeugt wird, dessen Teilchen das aufmodulierte Signal aufweisen. Die Teilchen des Sekundärteilchenstrahls sowie das dem Potential der Teilchen des Sekundärteilchenstrahls aufmodulierte Signal werden detektiert. Durch Vergleichen des detektierten aufmodulierten Signals mit einem Referenzsignal wird aus einer Relation zwischen dem Referenzsignal und dem detektierten aufmodulierten Signal der Abstand (Z) bestimmt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist die entsprechenden Bauteile zur Durchführung des Verfahrens auf.
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