| 发明名称 | 图像传感器的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种图像传感器的制造方法。该方法包括以下步骤：制备形成有多个光电二极管的半导体衬底；在该半导体衬底上形成层间介电层；在该层间介电层上形成滤色层；在该滤色层上形成平面层；以及在该平面层上形成涂覆有脂溶性聚合物的微透镜。由于涂覆在微透镜上的脂溶性聚合物，使得可均匀地形成微透镜，因此，提高了图像传感器的光敏度和色彩再现性，从而可以获得高质量的图像传感器。 | ||
| 申请公布号 | CN1992207A | 申请公布日期 | 2007.07.04 |
| 申请号 | CN200610156703.9 | 申请日期 | 2006.12.28 |
| 申请人 | 东部电子股份有限公司 | 发明人 | 金相植 |
| 分类号 | H01L21/822(2006.01);H01L27/146(2006.01) | 主分类号 | H01L21/822(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑小军 |
| 主权项 | 1、一种图像传感器的制造方法，该方法包括以下步骤：制备形成有多个光电二极管的半导体衬底；在该半导体衬底上形成层间介电层；在该层间介电层上形成滤色层；在该滤色层上形成平面层；以及在该平面层上形成涂覆有脂溶性聚合物的微透镜。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||