发明名称 半导体晶片运送保持具
摘要
申请公布号 CN3665855D 申请公布日期 2007.07.04
申请号 CN200630014285.0 申请日期 2006.05.15
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 榎木田卓
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 杨松龄
主权项
地址 日本东京都