发明名称 |
CMOS图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种CMOS图像传感器的制造方法,根据该方法,在半导体衬底上形成绝缘层;且在该绝缘层上形成金属焊盘;在包括该金属焊盘的绝缘层上形成第一覆盖层;选择性地去除该第一覆盖层以暴露出该金属焊盘的一部分;在暴露的该金属焊盘和该第一覆盖层上形成保护层;在该保护层上形成滤色镜阵列;以及在该滤色镜阵列和该保护层上形成第二覆盖层;选择性地去除该第二覆盖层以形成光电二极管区;在余留的第二覆盖层上进行等离子体处理。 |
申请公布号 |
CN1992311A |
申请公布日期 |
2007.07.04 |
申请号 |
CN200610170187.5 |
申请日期 |
2006.12.25 |
申请人 |
东部电子股份有限公司 |
发明人 |
金荣实 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郑小军 |
主权项 |
1.一种互补金属氧化物半导体图像传感器,其包括:绝缘层,其形成在半导体衬底上;金属焊盘,其形成在该绝缘层上;第一覆盖层,其形成在该绝缘层上,以露出该金属焊盘的一部分;保护层,其形成在该第一覆盖层上;滤色镜阵列,其形成在该保护层上;第二覆盖层,其形成在该滤色镜阵列上并具有等离子体处理的表面;以及微透镜,其形成在该第二覆盖层上。 |
地址 |
韩国首尔 |