| 发明名称 | 用于含水酸蚀刻溶液的氟化表面活性剂 | ||
| 摘要 | 本发明提供新的包括氟化表面活性剂的含水酸蚀刻溶液。该蚀刻溶液适用于多种基材，例如，用于蚀刻含二氧化硅的基材。 | ||
| 申请公布号 | CN1324111C | 申请公布日期 | 2007.07.04 |
| 申请号 | CN03824927.8 | 申请日期 | 2003.09.17 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 迈克尔·J·帕伦特;帕特里夏·M·萨武;理查德·M·弗林;章忠星;威廉·M·拉曼纳;裘再明;乔治·G·I·摩尔 |
| 分类号 | C09K13/04(2006.01);H01L21/311(2006.01);C09K13/08(2006.01) | 主分类号 | C09K13/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 郭国清;樊卫民 |
| 主权项 | 权利要求书1.一种含水蚀刻溶液，其包括：a)0.1～49重量％的HF或氟化物鎓盐络合物，及b)10～1000ppm的下式表示的表面活性剂：Rf-Q-R1-SO3-M+其中Rf是C1～C12全氟烷基，R1是-CnH2n(CHOH)oCmH2m-表示的亚烷基，其中n和m独立地是1～6，o是O或1，且其任选被链中氧或氮原子取代；M+是阳离子；及Q是-O-或-SO2NR2-，其中R2是H-、烷基、芳基、羟烷基、氨烷基或磺酸根合烷基，且任选含有一个或多个链中氧或氮杂原子。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||