发明名称 芯片粘合设备及其操作方法
摘要 一种芯片粘合设备,此设备包括胶带传送装置与粘合装置。其中,胶带传送装置包括卷筒式胶带与第一滚动条,而卷筒式胶带由多个胶层与第一离型膜所组成,这些胶层的二表面皆具有粘性,且第一离型膜包覆这些胶层的其中的一表面,第一滚动条用以卷绕第一离型膜,以带动卷筒式胶带旋转。另外,粘合装置是配置于胶带传送装置前端,而粘合装置包括至少一机械手臂与一控制器,其中控制器可控制机械手臂任意旋转与移动。
申请公布号 CN1992149A 申请公布日期 2007.07.04
申请号 CN200510048842.5 申请日期 2005.12.31
申请人 联诚光电股份有限公司 发明人 陈永丰;欧政汶;刘胤燮
分类号 H01L21/00(2006.01);H01L21/58(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1、一种芯片粘合设备,包括:胶带传送装置,该胶带传送装置包括:卷筒式胶带,该卷筒式胶带包括多个胶层与第一离型膜,其中该些胶层的二表面皆具有粘性,且该第一离型膜包覆各该些胶层的其中的表面;以及第一滚动条,用以卷绕该第一离型膜,并带动该卷筒式胶带旋转;以及粘合装置,配置于该胶带传送装置前端,该粘合装置包括至少一机械手臂与控制器,其中该控制器可控制该机械手臂任意旋转与移动。
地址 中国台湾新竹科学工业园区