平面加工装置及以该加工装置加工的平面载台的支撑方法

摘要

本发明的目的是提供一种以比较少的工时将大型工件的表面予以平坦加工的平面加工装置，同时提供一种使加工后工件的表面形成平面的支撑方法。其是将工件W载放到3处高度固定的固定式支撑体(1)的真空吸附部上予以保持固定。接着对位移式支撑体(2)的气缸供给空气使其上升而接触到工件W背面的时刻，固定位移式支撑体(2)的高度方向的位置，保持固定工件W。在此状态下，移动加工机头(10)，磨削工件W的表面加工成平面。使用如上述加工后的工件例如作为曝光装置的工件载台时，配置支撑体使其形成和加工后的固定式支撑体(1)的配置相同的位置关系，通过重现和加工时相同的支撑状态，使工件的表面呈平坦方式地设置。

主权项

1、一种平面加工装置，其特征在于，具备将板状工件平面地磨削的加工机头以及设有支撑体的加工载台，所述支撑体载放并保持平面地磨削的工件，上述加工机头或者上述加工载台在平面内移动，使保持在加工载台的工件的表面通过上述加工机头加工成平面，上述支撑体包括固定式支撑体和位移式支撑体，其中，所述固定式支撑体经由在加工载台上安装的台座上的转动轴承安装，具有从背面保持工件的真空吸附部，高度为不变；所述位移式支撑体，由以任意的推力使轴上下移动的装置、将上述轴的位置保持在设定位置的保持装置、以及经转动轴承安装在上述轴的顶端且从背面保持工件的真空吸附部所构成，高度为可变；上述固定式的支撑体和位移式的支撑体总计为4个以上，并使其中至少3个支撑体配置于三角形的顶点位置。