发明名称 作为热释电材料的反铁电薄膜及其制备方法和应用
摘要 本发明公开了一种具有可调工作温区、大热释电系数的反铁电薄膜及其制备方法和应用。本发明所述的作为热释电材料的反铁电薄膜(Pb,La或Nb)(Zr,Sn,Ti)O<SUB>3</SUB>,其采用溶胶凝胶法配制,前驱体溶液的溶质为醋酸铅、醋酸镧La或乙醇铌、醋酸锡、异丙醇锆和异丙醇钛,溶剂为冰醋酸、乙二醇乙醚、乙酰丙酮和水,前驱体溶液的最终浓度控制在0.2-0.4M之间,衬底是LaNiO<SUB>3</SUB>/Pt/Ti/SiO<SUB>2</SUB>/Si和Pt/Ti/SiO<SUB>2</SUB>/Si。本发明所述的反铁电薄膜具有高的热释电流,并且温度可调,可用于红外热释电探测器、机敏器件和系统。
申请公布号 CN1990418A 申请公布日期 2007.07.04
申请号 CN200510112416.3 申请日期 2005.12.29
申请人 同济大学 发明人 翟继卫
分类号 C04B35/01(2006.01);C04B35/48(2006.01);C04B35/462(2006.01);C04B35/457(2006.01);C04B35/622(2006.01);C04B35/624(2006.01);C04B35/64(2006.01);G01J5/10(2006.01);G01J1/42(2006.01) 主分类号 C04B35/01(2006.01)
代理机构 上海光华专利事务所 代理人 余明伟;钱春新
主权项 1、一种作为热释电材料的反铁电薄膜(Pb,La或Nb)(Zr,Sn,Ti)O3,其采用溶胶凝胶法配制,前驱体溶液的溶质为醋酸铅、醋酸镧La或乙醇铌、醋酸锡、异丙醇锆和异丙醇钛,溶剂为冰醋酸、乙二醇乙醚、乙酰丙酮和水,前驱体溶液的最终浓度控制在0.2-0.4M之间,衬底是LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si和Pt/Ti/SiO2/Si。
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