| 发明名称 | 载物台装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具备即使工件载物台大型化、对于移动机构也不会造成过度的负载，可顺利动作的Z方向移动机构的载物台装置。将滚珠螺杆(2b、2c)可摆动地安装在下端的台座(5a～5c)的周围，将滚珠螺杆(2a)固定在载物台基座(10)上。通过电动机(6a～6c)旋转滚珠螺杆(2a～2c)时，使移动体(4a～4c)沿着滚珠螺杆(2a～2c)移动，经由球面轴承将安装在移动体上的板(1)在Z轴方向(高度方向)移动而定位。在板上设有保持工件用的工件载物台。并且，旋转方向限制部(7)被安装在滚珠螺杆(2c)上，限制滚珠螺杆(2c)的倾斜量。另外，设置有板在定位于Z轴方向后不使板移动用的滚珠螺杆限位部(8)。 | ||
| 申请公布号 | CN1991592A | 申请公布日期 | 2007.07.04 |
| 申请号 | CN200610172532.9 | 申请日期 | 2006.12.27 |
| 申请人 | 优志旺电机株式会社 | 发明人 | 田中米太 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1、一种载物台装置，具备使保持着工件的工件载物台在Z轴方向(高度方向)上移动的载物台移动机构，其特征在于，上述载物台移动机构具备：沿着Z轴方向被设置、以至少2根以一点为轴可摆动的状态被配设于载物台基座的3根滚珠螺杆；相对于上述3根各滚珠螺杆可倾斜地被安装、使上述工件载物台在Z轴方向上移动的板；及限制上述滚珠螺杆相对于载物台基座的移动的滚珠螺杆限位装置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||