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发明名称 Variation detection of an integrated circuit environment
摘要
申请公布号 EP1291817(B1) 申请公布日期 2007.07.04
申请号 EP20020354131 申请日期 2002.09.03
申请人 STMICROELECTRONICS S.A. 发明人 WUIDART, SYLVIE;WUIDART, LUC;BARDOUILLET, MICHEL;BALLTHAZAR, PIERRE
分类号 G06F21/06;G01K7/00;G06K19/073;G06F12/14;G06F13/42;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G06F21/06
代理机构 代理人
主权项
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