| 发明名称 |
RF SPUTTERING METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING INSULATING FILMS OF VARIED PHYSICAL PROPERTIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3617459(A) |
申请公布日期 |
1971.11.02 |
| 申请号 |
USD3617459 |
申请日期 |
1967.09.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
JOSEPH S. LOGAN |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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