发明名称
摘要
申请公布号 JP3941538(B2) 申请公布日期 2007.07.04
申请号 JP20020045111 申请日期 2002.02.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/331;H01L29/737 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
地址