发明名称
摘要
申请公布号 JP3941485(B2) 申请公布日期 2007.07.04
申请号 JP20010370427 申请日期 2001.12.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/768;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/316 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址