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发明名称
摘要
申请公布号
JP3941485(B2)
申请公布日期
2007.07.04
申请号
JP20010370427
申请日期
2001.12.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;H01L21/768;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/316
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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